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介绍了一种新型的微细加工方法,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围,给出了驱动电压与可动极板位移量之间的关系曲线,用所制作的微激励器对上述推证结果进行了实验验证.
基于立体成型法的微激励器静态特性分析
【摘 要】
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介绍了一种新型的微细加工方法,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性,导出了可动极板处于稳定平
【机 构】
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机械与精密仪器学院,机械工程学院,理工学部
【出 处】
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西安交通大学学报
【发表日期】
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2001年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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