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综述了透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况，重点介绍了掺铝氧化锌（AZO）薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点，指出了需要进一步从材料选择、制备工艺的研究、多层膜光学设计等方面提高透明导电薄膜的综合性能，以满足尖端技术的需要。
透明导电薄膜的研究进展
【摘 要】
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综述了透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况，重点介绍了掺铝氧化锌（AZO）薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点，指出了需要进一步从材料选择、制备工
【机 构】
：
陕西科技大学材料科学与工程学院
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
：
2006年2期
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