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介绍了氧化锌薄膜的制备方法，主要有物理和化学两种方法。物理方法有：分子束外延法（MBE），脉冲激光溅射沉积法（PLD）以及磁控溅射法；化学方法有：溶液镀膜法和各种化学气相淀积（CVD）。重点讨论了磁控溅射法的优缺点及展望。
氧化锌薄膜的制备技术
【摘 要】
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介绍了氧化锌薄膜的制备方法，主要有物理和化学两种方法。物理方法有：分子束外延法（MBE），脉冲激光溅射沉积法（PLD）以及磁控溅射法；化学方法有：溶液镀膜法和各种化学气相淀积（CVD）。重点
【机 构】
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西北师范大学物理与电子工程学院
【出 处】
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甘肃科技
【发表日期】
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2009年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（10874140）,甘肃省自然科学基金资助项目（0710RJ2A105）
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