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本文阐述了IM－Ⅱ型氢气发生器的特点、工作原理和在半导体制造工艺中的应用。实践表明：该机运转性能良好，制氢纯度高、寿命长、体积小、重量轻、操作方便、流量准确、稳定可靠，有利于提高半导体器件产品质量和安全生产，可取代钢瓶，经济效益明显。
氢气发生器在半导体制造工艺中的应用
【摘 要】
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本文阐述了IM－Ⅱ型氢气发生器的特点、工作原理和在半导体制造工艺中的应用。实践表明：该机运转性能良好，制氢纯度高、寿命长、体积小、重量轻、操作方便、流量准确、稳定可靠，有
【机 构】
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山东师范大学半导体所,山东省化学研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1992年6期
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