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极值法是目前国内外真空镀膜膜厚监控中应用最广泛的方法。本文阐述了此法的膜厚监控原理、系统、方法。重点讨论了为提高监控精度而采取的一些改进措施。
光学薄膜膜厚监控中极值法的应用
【摘 要】
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极值法是目前国内外真空镀膜膜厚监控中应用最广泛的方法。本文阐述了此法的膜厚监控原理、系统、方法。重点讨论了为提高监控精度而采取的一些改进措施。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1989年2期
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