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利用金属有机气相沉积技术生长ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ多量子阱结构，通过改变生长程序，提到了优化的陡峭量子阱界面。并利用光致发光和Ｘ射线双晶衍射对界面质量分析，Ｘ射线双晶衍射表明界面起伏为一个原子层厚度，在１０Ｋ温度下ＰＬ普半峰高度为７ｍｅＶ。
多量子阱结构的MOVPE生长
【摘 要】
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利用金属有机气相沉积技术生长ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ多量子阱结构，通过改变生长程序，提到了优化的陡峭量子阱界面。并利用光致发光和Ｘ射线双晶衍射对界面质量分析，Ｘ射线双晶衍射表明界面起伏为一个原子
【机 构】
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厦门大学物理学系,集成光电子国家重点联合实验室吉林大学实验区
【出 处】
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厦门大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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福建省青年重点基金
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