【摘 要】
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日本工业技术院电子技术综合研究所电加工研究室的研究组用100瓦的CO_2激光作能源,制作超微粒子的精细陶瓷(碳化硅)粉末获得成功。以碳化硅、氮化硅为首的精细陶瓷,粒子直径
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日本工业技术院电子技术综合研究所电加工研究室的研究组用100瓦的CO_2激光作能源,制作超微粒子的精细陶瓷(碳化硅)粉末获得成功。以碳化硅、氮化硅为首的精细陶瓷,粒子直径越小,密度越高,越
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