用于先进器件金属化的铜膜的低压化学汽相淀积

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【摘要】

：

用于先进器件金属化的铜膜的低压化学汽相淀积＝Ｌｏｗｐｒｅｓｓｕｒｅｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉ－ｔｉｏｎｃｏｐｐｅｒｆｉｌｍｓｆｏｒａｄｖａｎｃｅｄｄｅｖｉｃｅｍｅｔａｌｍｅｔａｌ－ｌｉｚａｔｉｏｎ［刊，英］／Ｋｉｍ，Ｄ．Ｈ．…／／Ｊ．Ｅｌ... Low Pressure Chemical Vapor Deposition for Advanced Device Metallization of Copper Films = Lowpressure chem

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1994年04期

【关键词】

：

化学汽相淀积金属化纯氢垂直流俄歇电子扫描电子显微镜粒子浓度反射性能实验条件 μΩ

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