高精度大面积网栅的复制技术

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一、前言随着现代科学技术的发展,网栅的应用范围不断扩大,规格品种正在增加。网栅的刻线密度由1线/10毫米发展到250线/毫米。刻线面积由20×20毫米发展到400×400毫米。刻线的点位精度,任意两点之间的积累误差已小于0.002毫米。计测仪器网栅面积大、精度高,因而加工困难。储存管中的网栅,要经过刻度、电 I. Preface With the development of modern science and technology, the application range of the grid is constantly expanding, and the variety of specifications is increasing. The density of the grid engraved from 1 line / 10 mm to 250 lines / mm. Scribe area from 20 × 20 mm to 400 × 400 mm. The accuracy of reticle point, the cumulative error between any two points has been less than 0.002 mm. Measurement equipment mesh area, high precision, so processing difficulties. Storage tube in the grid, to go through the scale, electricity
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