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【摘 要】
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<正> 1、半导体LSI(大规模集成电路)元件是由薄膜构成的,薄膜技术在其中起着重要的作用。薄膜材料的来源是靶。随着LSI的高功能化和需求量扩大,迅速开发了多种多样的靶材料,
【出 处】
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上海钢研
【发表日期】
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2001年1期
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