【摘 要】
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进入二十一世纪以来,国际集成电路制造技术进入了新一轮的快速发展时期,0.13μm~0.10μm直径300mm集成电路技术开始进入市场,对直径300mm硅片的需求也由技术研发转变为现实的
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进入二十一世纪以来,国际集成电路制造技术进入了新一轮的快速发展时期,0.13μm~0.10μm直径300mm集成电路技术开始进入市场,对直径300mm硅片的需求也由技术研发转变为现实的市场需求。为适应国际半导体产业的发展,有研硅股在国家科技部和北京市政府的共同支持下,攻克了大直径?
Into the 21st century, the international integrated circuit manufacturing technology has entered a new round of rapid development period, 0.13μm ~ 0.10μm 300mm diameter 300mm integrated circuit technology to enter the market, the demand for 300mm diameter silicon from technology research and development into reality Market demand. In order to meet the needs of the development of the international semiconductor industry, the Silicon Research Unit, under the common support of the Ministry of Science and Technology and the Beijing Municipal Government, has overcome the large diameter.
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