【摘 要】
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根据双探针法(DPM)理论模型,用自行设计的双向自动线性电压扫描器测定了Ar-ICP在不同工作条件下的电子温度Te,包括不同高度(负载线圈以上)9～16.5mm、等离子气流速12—20 l/min
【机 构】
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河北大学化学系,中国科学院大连化学物理研究所,中国科学院大连化学物理研究所
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根据双探针法(DPM)理论模型,用自行设计的双向自动线性电压扫描器测定了Ar-ICP在不同工作条件下的电子温度Te,包括不同高度(负载线圈以上)9～16.5mm、等离子气流速12—20 l/min和不同功率1—1.5kW。电子温度随高度和流速的增加而下降;随功率的增加而升高。并且对通水情况下的测定做了探讨。实验结果与理论模型之间的相关系数是0.892～0.998,方法的标准偏差是1.33%。对所测得的扫描曲线、实验现象和影响实验结果的因素作了分析。
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