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为保证产品良好的Bending特性,有必要进行薄化工艺深层研究,以提高薄化产品Bending,满足或超越客户需求,提高公司产品竞争力。本文着重研究了薄化工艺中的Slim（化学刻蚀）和Polish（物理研磨）工艺对Bending影响：1.通过双样本检定分析确定Slim工艺中采用预处理方式对Bending影响;2.通过双样本检定分析确定Polish工艺对Bending影响;3.利用DOE田口实验设计实验方案,对Polish工艺参数进行优化。通过一系列测试验证,得出兼顾Bending和外观良率的最优方案：采用S