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分别采用无机盐的水解－沉淀法和醇盐的溶胶－凝胶法两种工艺在Ａｌ２Ｏ３基片上制备ＴｉＯｘ（ｘ＝１－２．０）薄膜，研究了薄膜结构及氧敏特性。结果表明：水解－沉淀法的膜层粒子分布均匀，工艺易控制；溶胶－－凝胶法的膜层粒子更细微，相变温度较低，两种工艺制得的超微粒薄膜都具有很好的电阻－温度稳定性。膜层粒子愈起细化，分布愈均匀，氧敏特性愈高；薄膜厚度与气体检测灵敏度有密切关系，具有最佳膜层厚度值，两种工艺获