【摘 要】
：
介绍了一种以微米衍射光栅为敏感元件的微机电加速度计敏感头的加工和性能.硅质量块底部加工有铝反射膜,透明玻璃基底上制作有金微米光栅,中间为空气腔,经硅玻璃阳极键合,构
【机 构】
：
北京航空航天大学精密光机电一体化技术教育部重点实验室,北京100191;北京航空航天大学新型惯性仪表与导航系统技术国防重点学科实验室,北京100191
论文部分内容阅读
介绍了一种以微米衍射光栅为敏感元件的微机电加速度计敏感头的加工和性能.硅质量块底部加工有铝反射膜,透明玻璃基底上制作有金微米光栅,中间为空气腔,经硅玻璃阳极键合,构成敏感头的核心敏感部件.光源透过透明基底,照射在光栅上,在反射场内会产生一系列衍射级次,且各级次衍射光强与外界加速度之间呈函数关系.完成了微米光栅加速度计敏感头的加工,搭建了实验测试平台,完成了加速度计的灵敏度以及静电驱动性能测试.为未来新型集成式微米光栅加速度计设计和加工提供参考.
其他文献
今年1月21日,位于华盛顿的美国国务院本杰明·富兰克林大厅人头攒动,美国艺术家马克·布拉德福德(Mark Bradford)与中国艺术家徐冰、美籍华裔建筑师林璎等7位艺术家同时荣获
本论文在细读文本的基础上对《活着》的叙事视角、叙事结构、叙事节奏等叙事形式做了细致分析，其后总结出叙事形式所达成的叙事功能，希望进一步丰富并细化对“形式的意味”的认
Internet的飞速发展，全球网络化、信息化的推进，使得信息服务部门数字化、网络化的建设已成为必然趋势。特别是大数据时代的来临，更加掀起了各学科研究方法的革命性变化。语言作
陈红(1969-),女,山东宁阳人,现任中国矿业大学管理学院教授、博士生导师,中国人力资源管理教学与实践研究会理事,国际能源经济学会中国委员会委员、AOM(美国管理学会)、IPPA(
工作室项目教学是近年来在许多高校艺术设计专业教学中备受推崇的一种人才培养模式,文章通过对这种教育现状进行分析发现问题,借鉴两次外教“工作室项目教学”实际经验,探索
通过推导统一潮流控制器(UPFC)稳定控制器的状态方程,分析了UPFC稳定控制器对同步发电机电磁转矩的影响.同步发电机的同步转矩分量和阻尼转矩分量是影响电力系统稳定性最直接
2001年四总部联合下发《关于开展“做遵章守纪模范,树军车良好形象”活动的通知》和召开全军电视电话会议后,兰州军区首长和部队各级首长高度重视,全区部队和机关各职能部门
在新课程改革的背景下,高中语文在写作上要求学生能够多角度思考问题,将生活中真实的情感表现在作文中。但是当前的高中语文写作模式较陈旧,为了能够激发学生的创新思维,这就
湖湘诗派作为晚清诗坛一个复古诗歌流派，它的出现正是中国封建社会走向解体，中国文化由古典向现代过渡的特殊时期。在这种文学风气逐渐变化的环境中，湖湘诗派归依传统，试图从汉魏