【摘 要】
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对液相外延温控系统和真空系统进行了全新的设计，温控系统运用单相可控硅过零触发技术，解决了移相触发技术中使系统电压畸变，功率因数下降的问题。并配以日本神港程序控制器，使得
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对液相外延温控系统和真空系统进行了全新的设计，温控系统运用单相可控硅过零触发技术，解决了移相触发技术中使系统电压畸变，功率因数下降的问题。并配以日本神港程序控制器，使得温度精度达到±0．1℃，且重复性和稳定性也相应地得到提高。真空系统加入了冲洗气体保护装置，有效地解决了以往冷阱变暖使油蒸汽反流的问题。
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