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本文介绍两步硼扩散工艺,它对改善台面功率晶体管的性能极有帮助.
两步硼扩散代替硼铝扩散的探讨
【摘 要】
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本文介绍两步硼扩散工艺,它对改善台面功率晶体管的性能极有帮助.
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1991年3期
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