【摘 要】
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随着传感器技术和硅微机械加工技术的发展,唤起了对制造微小型麦克风、拾音器等微声压传感器的兴趣．人们将这些技术和古典的转换原理结合起来,研究了基于电压、压阻、场
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【机 构】
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东北传感技术研究所!哈尔滨150001,东北传感技术研究所!哈尔滨150001,东北传感技术研究所!哈尔滨150001
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随着传感器技术和硅微机械加工技术的发展,唤起了对制造微小型麦克风、拾音器等微声压传感器的兴趣．人们将这些技术和古典的转换原理结合起来,研究了基于电压、压阻、场
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