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在590℃温度下,不使用1.3μm GaInAsP 防回熔层,直接在 n-InP(100)衬底上液相外延生长出1.55μm InP/GaInAsP/InP 双异质结构外延片。对这种外延片的生长情况及其特性和 InP 衬底的热损伤情况,本文作了详细的分析和讨论。
在npInP（100）衬底上低温液相外延生长1.55μmGaInAsP双异...
【摘 要】
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在590℃温度下,不使用1.3μm GaInAsP 防回熔层,直接在 n-InP(100)衬底上液相外延生长出1.55μm InP/GaInAsP/InP 双异质结构外延片。对这种外延片的生长情况及其特性和 InP
【机 构】
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北京大学物理系,北京大学物理系北京100871,北京100871
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1990年4期
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