【摘 要】
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作为光束均值器,λ/4波片是大功率CO_2激光加工机中的关键部件。多层膜反射镜(包括内反射和外反射),在倾斜入射时,两个偏振分量会产生不同的相移,因此可用计算机优化设计出特
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作为光束均值器,λ/4波片是大功率CO_2激光加工机中的关键部件。多层膜反射镜(包括内反射和外反射),在倾斜入射时,两个偏振分量会产生不同的相移,因此可用计算机优化设计出特定位相差的膜系。本文的目的是设计10.6μm的90°相位膜,它的作用就象四分之一波片。与传统的波片相比,它的优点是可以适用于任何波长,具有高的位相精度和大的孔径。文中提出了两种设计方法,并报告了制备技术、实验结果及误差分析。
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