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为了在半导体后道制造工艺中有效地应用摩尔比例缩小定律,必须要有一体化的圆片级封装工艺,并且,它可以以圆片的形式进行测试、老化和其它操作.到目前为止,已有多种圆片级封装技术的报导,但几乎都没有涉及到圆片级的测试和老化问题.
圆片级组装、测试一体化的后道工艺
【摘 要】
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为了在半导体后道制造工艺中有效地应用摩尔比例缩小定律,必须要有一体化的圆片级封装工艺,并且,它可以以圆片的形式进行测试、老化和其它操作.到目前为止,已有多种圆片级封
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2002年2期
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