【摘 要】
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低温泵是一种捕集型真空设备,它与分子泵、扩散泵不同,它所抽走的气体不是被立即排出泵外,而是贮存在泵内,所以低温泵是一种贮存式真空泵。因此,低温泵的抽气与再生是使用者十分关
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低温泵是一种捕集型真空设备,它与分子泵、扩散泵不同,它所抽走的气体不是被立即排出泵外,而是贮存在泵内,所以低温泵是一种贮存式真空泵。因此,低温泵的抽气与再生是使用者十分关心的问题。本文在论述低温抽气机理的基础上,着重讨论了低温泵的抽气容量、再生时间和再生方法。并举例说明低温泵在抽不同气体时的再生时间是不同的。
Cryogenic pump is a collection of vacuum equipment, which is different from the molecular pump, diffusion pump, the gas it is pumped out of the pump is not immediately discharged, but stored in the pump, so cryogenic pump is a storage vacuum pump. Therefore, cryogenic pump suction and regeneration are users are very concerned about the problem. Based on the discussion of the mechanism of low-temperature pumping, this paper focuses on the pumping capacity of the cryogenic pump, regeneration time and regeneration method. And illustrate the cryogenic pump pumping different gases in the regeneration time is different.
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