【摘 要】
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三硼酸锂（LBO）晶体是优良的非线性光学晶体材料,抛光后晶体表面水份残留导致晶体潮解,影响器件的使用性能.采用非水基抛光液固结磨料抛光LBO 晶体,降低水含量,研究非水基抛光液
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院,中国科学院理化技术研究所功能晶体与激光技术重点实验室
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三硼酸锂（LBO）晶体是优良的非线性光学晶体材料,抛光后晶体表面水份残留导致晶体潮解,影响器件的使用性能.采用非水基抛光液固结磨料抛光LBO 晶体,降低水含量,研究非水基抛光液中去离子水、乳酸、双氧水等含量对材料去除率和表面粗糙度的影响,并综合优化得到高材料去除率和优表面质量的抛光液组分. 研究表明,抛光液中去离子水浓度16%、乳酸22%、双氧水5%为最优抛光液组分,采用优化的抛光液固结磨料抛光LBO 晶体的材料去除率达到392nm/min,表面粗糙度为0.62nm,实现了LBO 晶体表面的高效高质量抛光
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