【摘 要】
：
在无匹配层、常温、溅射气体为纯Ar的条件下，利用直流磁控溅射法在Si表面制备了Ta薄膜，系统研究了工作气压及直流功率对薄膜电阻率及微观结构的影响。分别用四探针测试仪、X射
【机 构】
：
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室
【基金项目】
：
国家科技重大专项02专项资助项目（2009ZX02001-002）
论文部分内容阅读
在无匹配层、常温、溅射气体为纯Ar的条件下，利用直流磁控溅射法在Si表面制备了Ta薄膜，系统研究了工作气压及直流功率对薄膜电阻率及微观结构的影响。分别用四探针测试仪、X射线衍射仪、原子力显微镜对不同条件下制备的Ta薄膜电阻率、相结构及表面形貌进行表征。结果发现，随溅射气压升高，高阻β相出现，薄膜电阻率随之增大；在相同溅射气压下，随着溅射功率的增加，薄膜电阻率先降低后升高。优化溅射工艺后制得的Ta薄膜的电阻率低至29．7μΩ·cm。
其他文献
语文是学生的基础学科,语文学科和其他学科的不同之处是需要学生投入大量的精神和耐力去学习。而对教师而言,语文教学更需要投入大量的技巧和精力。特别是对中职语文的教学,
中国画无论山水、花鸟、人物,都不是按照物体的实际形态描绘的,而是艺术家结合自己的艺术造诣进行高度概括后所得出的艺术意象,也就是我们常提到的＂眼中之竹＂＂手中之竹＂＂胸中之竹＂
本文主要以企业财务管理模式为重点进行阐述,以企业财务管理存在的问题为主要依据,从明确划分财务管理人员工作职责、适当转变企业传统财务管理职能、规范会计核算工作几个方
中国传统文化博大精深,流传至今已经成为中国最珍贵的精神财富,因此无论是以前还是现在,都应该把传统文化放在首要位置。当然,传统文化的重要地位并不是意味着对传统文化的无
本文在梳理和分析国内外创业失败领域内的相关文献基础上,认识了解了创业失败、分析了创业失败的原因、认知了创业失败的影响、综合考虑了创业失败的成本。再进一步探讨了创
“郡县治,天下安。”基层社会治理是现代化国家治理体系和治理能力建设的基层基础,是中国特色社会主义进入新时代后党和国家面临的重大课题。
目的：观察促红细胞生成素（EPO）联合铁剂辅助治疗对舒张性心力衰竭（DHF）合并贫血患者心功能、运动能力及贫血的影响。方法：94例DHF合并贫血患者被随机分为：常规治疗组（46例）和联合治疗
现有的鼓-缓冲器-绳子理论存在3方面不足：首先，缓冲区大小凭经验估计，当生产环境发生变化时，容易造成瓶颈生产安排、订单投料安排与实际生产脱节；其次，侧重于对瓶颈生产的安排和投
以层状结构的 K2 Ti6 O13纳米纤维为钛源,成功实现了钙钛矿结构钛酸铅四方板状颗粒的合成。分别利用 XRD、SAED、SEM、TEM、HRTEM对其物相和微观形貌进行了表征。结果显示,所
目前临床对于脓毒性休克治疗一般为及时的病情监测和激素的运用,及时病情监测对于脓毒性休克患者的预后有重要意义,但在治疗过程中激素的使用带来的副作用也不容小觑。研究中