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多孔硅湿敏电容感湿机理的研究王维彪，金长春，王永珍（中国科学院长春物理所长春１３００２１）关键词多孔硅；电容；湿敏元件；机理中图分类号ＴＰ２１２．２随着电子技术的发展，湿敏传感器的应用越来越广泛，对推广应用电子技术实现自动控制、确保生产安全和改善设备...
多孔硅湿敏电容感湿机理的研究
【摘 要】
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多孔硅湿敏电容感湿机理的研究王维彪，金长春，王永珍（中国科学院长春物理所长春１３００２１）关键词多孔硅；电容；湿敏元件；机理中图分类号ＴＰ２１２．２随着电子技术的发展，湿敏传感器的应用越来越广泛，对推广应
【机 构】
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中国科学院长春物理所
【出 处】
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郑州轻工业学院学报
【发表日期】
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1994年S1期
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