【摘 要】
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在柔性塑料膜上印刷厚膜元件可以制作廉价微型压力传感器。对敏感膜片的两种动作方式进行了研究。第一种方式是将碳聚合物电阻印刷在膜片上,电阻值根据压阻效应而发生变化。
【机 构】
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微电子中心南澳大利亚技术研究所,微电子中心南澳大利亚技术研究所
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在柔性塑料膜上印刷厚膜元件可以制作廉价微型压力传感器。对敏感膜片的两种动作方式进行了研究。第一种方式是将碳聚合物电阻印刷在膜片上,电阻值根据压阻效应而发生变化。第二种方式是将一块导电板印刷到膜片上,构成电容器的一
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