【摘 要】
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德国海得堡公司推出一种紫外激光扫描装置。通过将紫外激光扫描装置及测长计功能一体化设计,可用一台装置实施多处理模片的细扫描及多层光掩模的制作。通过多重高速调制、多
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德国海得堡公司推出一种紫外激光扫描装置。通过将紫外激光扫描装置及测长计功能一体化设计,可用一台装置实施多处理模片的细扫描及多层光掩模的制作。通过多重高速调制、多重高速偏转紫外激光器、及实时位置控制,可实施大面积极细微的高精度扫描。并带有高水平的测长及标准功能,可对扫描图形和光学掩模进行检查。测长。还可对一次扫描的图形进行重新定位,重新
Germany Heidelberg launched a UV laser scanning device. Through the integration of the UV laser scanning device and the length gauge, the multi-processing thin-film scanning and multi-layer photomask fabrication can be performed with one device. Multiple, high-speed modulation, multiple high-speed deflection UV lasers, and real-time position control enable large-area, extremely detailed, high-precision scanning. With a high level of length measurement and standard features, scan patterns and optical masks can be inspected. Length measurement. You can also re-positioning a scan of the graphics, re-
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纵然(即使) 慨然(允许) 遽然(急浪) 訇然(一声) 茫然(无知) 天然(垂成) 居然(不顾) 蓦然(看去) 跃然(可见) 峨然(高大) 顿然(失措) 油然(而生) 公然(违犯) 怦然(心动) 废然(