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Aerotech推出一系列集成开放式架构平台，具有精确的几何性能和微米级直线度。此款新型PlanarDLA平台包括高精度滚柱轴承、精确加工表面和通过刚性轴心驱动的无接触直线电机，这些特点可以实现±0．5μm的直线度和±1．25μm的平直度。
PlanarDLA轻薄型XY直线电机平台
【摘 要】
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Aerotech推出一系列集成开放式架构平台，具有精确的几何性能和微米级直线度。此款新型PlanarDLA平台包括高精度滚柱轴承、精确加工表面和通过刚性轴心驱动的无接触直线电机，这
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2015年9期
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