高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点

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本文简要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜的一些基本概念:气体的电离效应,背底噪音,偏电压对信号电流的影响及图像形成的原理:并简单地介绍了本电镜的三个主要特殊系统(三级真空系统,环境信号探测系统及高温样品台)的结构与特点,此外,又给出了高温样品台中加热炉丝磁场对电子轨迹影响的计算结果,为选用加热电源的技术指标确定了理论根据 This article briefly describes the KYKY1500 high temperature environment scanning electron microscope some of the basic concepts: the gas ionization effect, the background noise, bias voltage on the signal current and the principle of image formation: and simply introduced the three major special electron microscope system (Three-stage vacuum system, ambient signal detection system and high-temperature sample stage). In addition, the calculation results of the influence of the magnetic field of the heating furnace wire on the electron trajectory in the high-temperature sample stage are also given. The technical indicators for selecting the heating power source are determined Theoretical basis
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