【摘 要】
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在芯片制造过程中,显影是光刻制程必不可少的一个工艺环节,主要通过显影机来完成.因此,显影液保温与供应是显影机最重要的一个功能.显影液的温度会直接影响显影机进行晶圆的
【机 构】
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司 辽宁沈阳 11000
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在芯片制造过程中,显影是光刻制程必不可少的一个工艺环节,主要通过显影机来完成.因此,显影液保温与供应是显影机最重要的一个功能.显影液的温度会直接影响显影机进行晶圆的加工的良率,因此其需要被精确控制,通常要求控制在23±0.1℃.本文通过对显影机的整个换热系统的分析计算,从而得出各方面对温度的影响,进而对后续的温控系统进行优化提供改进方向和理论支撑.
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