（La0．5Sr0．5）CoO3为电极的Pb（Zr0．4Ti0．6）O3和Pb（Zr0．2Ti0．8）O3铁电电容器结构及电学性能

• 作 者: 贾冬梅 刘保亭 彭增伟 郝彦磊 朱慧娟 张宪贵
• 机 构: 河北大学物理科学与技术学院
• 出 处: 人工晶体学报
• 发表日期: 2013年1期
• 关键词: Pb(Zr1-xTix)O3 铁电电容器 溶胶-凝胶 矫顽场 脉宽依赖性 疲劳特性 Pb （Zr1-xTix ） O3 ferroelectric capac
• 基金项目: 国家自然科学基金（11074063）,河北省应用基础研究计划重点项目（10963525D）,高等学校博士点基金（20091301110002）

分别采用磁控溅射法和溶胶-凝胶法（Sol-gel）制备了（La0.5Sr0．5）CoO3（LSCO）和Pb（Zr1-xTix）O3（PZT）薄膜，在Pt（111）／Ti／SiO2／Si基片上构架了LSCO／Pb（Zr0．4Ti0.6）O3（PZT（40／60））／LSCO和LSCO／Pb（Zr0.2Ti0.8）O3（PZT（20／80））／LSCO铁电电容器，研究了两种铁电电容器的结构和性能。XRD结构分析表明：两种四方相的不同Zr／Ti比例的PZT薄膜均为结晶良好的多晶钙钛矿结构。在5V测试电压下，LS