【摘 要】
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采用反相微乳液法合成出纳米氧化铟（In2O3）,利用其制备出了热线型气体传感器。利用二甲基二乙氧基硅烷（DEMS）的化学气相沉积,在敏感元件表面形成了一层致密的二氧化硅（SiO2）分子筛
【机 构】
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郑州大学,河南汉威电子股份有限公司
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采用反相微乳液法合成出纳米氧化铟（In2O3）,利用其制备出了热线型气体传感器。利用二甲基二乙氧基硅烷（DEMS）的化学气相沉积,在敏感元件表面形成了一层致密的二氧化硅（SiO2）分子筛层,限制了除氢气（H2）以外其它分子直径较大的还原性气体向气敏材料内层的扩散,提高了该传感器对H2的选择性和响应。参考元件的补偿作用降低了环境湿度的影响,通过气敏机理模型讨论了其内在原因。该传感器具有对H2较高的选择性和响应,优良的抗环境影响能力,以及较好的稳定性和较低的功耗。
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