【摘 要】
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离子镀膜技术是继电子束真空蒸发镀膜、真空溅射之后发展起来的一种新的镀膜技术.它综合利用了真空蒸发及溅射两种镀膜原理和技术,具有比纯真空蒸发或真空溅射更为突出的优点
【机 构】
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国防科学技术大学,国防科学技术大学,国防科学技术大学
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离子镀膜技术是继电子束真空蒸发镀膜、真空溅射之后发展起来的一种新的镀膜技术.它综合利用了真空蒸发及溅射两种镀膜原理和技术,具有比纯真空蒸发或真空溅射更为突出的优点.因此,已被国内外电子、轻工、激光、精密机械、宇航等部门所采用. 液晶显示中透明电极图形的制作,是研
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