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【摘 要】
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采用一种沟道内置沟道的套刻标记和自动工艺控制策略，双沟道图形化相关的CD均匀性问题可保持在具有量产价值的范围内。
【机 构】
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AppliedMaterialsInc
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年4期
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