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压电驱动振子是由压电陶瓷层和单晶硅层组成的复合结构. 面向药物微喷应用, 以压电驱动振子为研究对象,结合压电本构方程, 利用 Ansys 软件对驱动振子进行模态分析, 获得各阶模态振型和固有频率, 以及在相应振型下驱动膜上的压力波幅值分布.同时通过对其进行谐响应分析, 得出了压电驱动振子的轴向位移分布曲线, 为压电微喷液滴发生器的设计提供理论依据.