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本文指出ＸｅＣｌ激光器钝化过程中激光器金属部件的氧化膜与ＨＣｌ的反应是返潮现象的重要原因。分析了反潮现象对器件的危害及消除方法。
XeCl准分子激光器钝化中的返潮现象
【摘 要】
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本文指出ＸｅＣｌ激光器钝化过程中激光器金属部件的氧化膜与ＨＣｌ的反应是返潮现象的重要原因。分析了反潮现象对器件的危害及消除方法。
【机 构】
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中国科学院安徽精密光学机械研究所,中国科学院安徽精密光学机械研究所合肥230031,合肥230031
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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1993年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金,,中科合肥分院院长基金
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