【摘 要】
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利用锁相环路控制光栅机,使光栅毛坯与钻石刀具两运动按相对位置精确地同步,以提高所刻制光栅的质量。控制后的光栅机,连续工作六昼夜,锁定的稳态相位误差小于4°,即相对定位
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利用锁相环路控制光栅机,使光栅毛坯与钻石刀具两运动按相对位置精确地同步,以提高所刻制光栅的质量。控制后的光栅机,连续工作六昼夜,锁定的稳态相位误差小于4°,即相对定位精度可达0.005微米。
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