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很久以来，传统的光学显微技术一直是ＩＣ测量中的重要技术，但它正在被共焦扫描显微技术、相干探测显微技术和扫描电子显微技术等精度更高的技术所取代。本文重点对用于在线线宽测量的低压扫描电子显微镜进行了讨论。
亚微米光刻的线宽测量技术
【摘 要】
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很久以来，传统的光学显微技术一直是ＩＣ测量中的重要技术，但它正在被共焦扫描显微技术、相干探测显微技术和扫描电子显微技术等精度更高的技术所取代。本文重点对用于在线线宽测量
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1995年6期
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