【摘 要】
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随着控制技术的发展,要求湿度传感器能够适应较宽的温度范围。可是目前一般的陶瓷湿度传感器,由于是利用金属氧化物表面物理吸附水而引起电导率变化的原理,所以在150℃以上
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随着控制技术的发展,要求湿度传感器能够适应较宽的温度范围。可是目前一般的陶瓷湿度传感器,由于是利用金属氧化物表面物理吸附水而引起电导率变化的原理,所以在150℃以上的环境中,水的吸附量小,湿度检测困难。这就限制了湿度传感器的应用。而在某种特定条件下,低湿度和高温气
With the development of control technology, humidity sensors are required to adapt to a wide temperature range. However, the conventional ceramic humidity sensor is based on the principle of using a metal oxide surface to physically adsorb water to change the conductivity. Therefore, the adsorption amount of water is small and the humidity is difficult to detect in an environment above 150 ° C. This limits the use of humidity sensors. Under certain conditions, low humidity and high temperature gas
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