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【摘 要】
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采用正交设计法，对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究；确定了最佳工艺参数，为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。
【机 构】
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武汉理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
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武汉理工大学学报：信息与管理工程版
【发表日期】
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2004年5期
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