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期刊论文
用于微米尺寸检测技术的涡流测量装置
用于微米尺寸检测技术的涡流测量装置
来源 :上海计量测试 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sdszsh122
【摘 要】
:
根据高频涡流原理的集肤效应,研制出非接触式多通道微米尺寸测量系统。本文论述系统的组成、技术的原理、实验的测试结果,并得到小于2μm的误差结果,从而说明该系统满足精密零件
【作 者】
:
于亮
金斌
【机 构】
:
上海市计量测试技术研究院,上海量理仪器科技有限公司
【出 处】
:
上海计量测试
【发表日期】
:
2014年1期
【关键词】
:
微点涡流
集肤效应
提离效应
非接触式微米尺寸检测
Dot of eddy current
skin effect
Lift off effect
untouc
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根据高频涡流原理的集肤效应,研制出非接触式多通道微米尺寸测量系统。本文论述系统的组成、技术的原理、实验的测试结果,并得到小于2μm的误差结果,从而说明该系统满足精密零件的在线筛选检测的要求,在全自动生产线上有广阔的应用前景。
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