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一般微机械加工的梁－岛结构加速度传感器，梁的平面都是与器件平面平行的，因此只能测量器件平面法向的加速度分量。我们提出了一种制作梁平面与器件平面相垂直的梁－岛结构的微机械加工方法，并用以设计和制造了一种可测量平行于器件平面的加速度分量的横向加速度传感器，为研制三维加速度传感器提供了新思路。
横向加速度传感器设计及特性研究
【摘 要】
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一般微机械加工的梁－岛结构加速度传感器，梁的平面都是与器件平面平行的，因此只能测量器件平面法向的加速度分量。我们提出了一种制作梁平面与器件平面相垂直的梁－岛结构的微机械
【机 构】
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复旦大学电子工程系,200433
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1997年7期
【基金项目】
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国家自然科学基金,,传感技术国家重点实验室资助
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