【摘 要】
：
采用射频等离子增强化学气相沉积法制备出a-C∶H(N)类金刚石薄膜 ,用X射线光电子能谱、红外吸收谱和慢正电子湮灭谱研究了薄膜的结构 ,用弯曲法测定了薄膜的内应力 .随着混合
【机 构】
：
华中科技大学塑性成型模拟及模具技术国家重点实验室,华中科技大学塑性成型模拟及模具技术国家重点实验室,华中科技大学塑性成型模拟及模具技术国家重点实验室,华中科技大学塑性成型模拟及模具技术国家重点实验室
论文部分内容阅读
采用射频等离子增强化学气相沉积法制备出a-C∶H(N)类金刚石薄膜 ,用X射线光电子能谱、红外吸收谱和慢正电子湮灭谱研究了薄膜的结构 ,用弯曲法测定了薄膜的内应力 .随着混合气体中N2 的含量从 0增加到 75 % ,薄膜中含N量可增加到 9.0 9% (摩尔分数 ) ,N原子与C原子以%DC—N ,C N和C≡N键的形式结合 .薄膜中的缺陷密度随含N量而增加 ,而薄膜的内应力则随着薄膜中N含量的增加而单调降低
The films of aC:H (N) were prepared by radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition. The structures of the films were characterized by X-ray photoelectron spectroscopy, infrared absorption spectroscopy and slow positron annihilation spectroscopy. Stress.As the content of N2 in the mixed gas increases from 0 to 75%, the content of N in the film can be increased to 9.09% (molar fraction), and the N atom and the C atom with% DC-N, CN and C≡N bonds The defect density in the film increases with the amount of N, while the internal stress of the film monotonically decreases with the increase of the N content in the film
其他文献
通过详细计算表明,在准经典情况下, 氢原子1/r的矩阵元的量子力学结果与它的Heisenberg矩阵元近似相等, 在经典极限下, 它们相同.
结合离子阱选择囚禁技术和垂直交叉的离子束碰撞冷却方法 ,在射频阱中用激光溅射纯金属靶产生并选择囚禁了难熔元素钪与钛的低能多电荷离子Scn +(n =1～ 3)和Tin +(n =1～ 4)。在
用共价键合法把壳聚糖修饰在玻碳电极表面,研究了NO-2在修饰电极上的阳极溶出伏安特性.实验结果表明:修饰电极在0.1 mol/L NaNO3(pH 2.60)底液中对NO-2有良好的吸附性和选择
提出一种改进的阻尼型高斯 牛顿优化算法 ,通过引入阻尼矩阵 ,对反演参数依其相对修改量不同而给以不同的阻尼作用 ,并将它用于高频电磁波测井资料的反演中
An improved da
工业部门大量存在着障碍物。实践证明,障碍物对加速燃烧和诱导爆炸具有非常重要的影响。为了深入研究障碍物与火焰之间的关系,本文基于湍流的k ε模型和改进的EBU Arrhenius
Ⅱ类非临界相位匹配 (NCPM)钛氧磷酸钾 (KTP)光学参量振荡器 (OPO)是获得人眼安全 1.5 7μm激光的重要手段。本文研制了小型一体化人眼安全 1.5 7μm KTP OPO,可方便地对原有
介绍了利用自发 Raman散射光谱测量低压气流组分绝对浓度的方法 ,在流动状态下得到了不同压力下的自发喇曼散射光谱 ,检测最低压力为 1 33Pa;对于含 N2 氧气流在已知 N2 浓度
研究了从声散射场的远场分布的信息来再现声阻抗障碍物形状的反问题,建立了求解这类反问题的一种非线性最优化模型,并提出了数值实现该非线性最优化模型的一种两步调整迭代算
在温度为298K,相对湿度为(85±5)%的条件下,对硫酸铵颗粒沉积后的A3钢的大气腐蚀行为进行了研究.腐蚀动力学曲线表明,沉积硫酸铵颗粒的A3钢试样比其空白试样的腐蚀更为严重.
在仪器函数和吸收线型已知的情况下,提出了一种非线性拟合退卷积法,用于提高气体吸收测量的光谱分辨率.数值模拟和实际应用都表明:该方法用于室内气体吸收光谱的测量,在保持