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用Evenson腐蚀剂对CdZnTe晶体(111)B和(211)B面上的位错进行了腐蚀和观察,发现(111)B面上的腐蚀坑密度(EPD)值明显高于(211)B面上的EPD值,(111)B面上的EPD值怀双晶衍射半峰宽有明显的依赖关系,(111)B面上的FWHM值随EPD的增加而增加,而(211))B面上的EPD则与材料的双晶衍射半峰宽无关。研究结果表明,用Everson腐蚀剂得到的EPD参数依赖于