【摘 要】
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4.装置 4.1 离子源 如式所示,入射滤质器离子的能量分散容许有相当大的另散,因此无需考虑电离室内电位的均匀性。适用于残余气体分析的开放式的电离室正在普及。最近,图16那
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4.装置 4.1 离子源 如式所示,入射滤质器离子的能量分散容许有相当大的另散,因此无需考虑电离室内电位的均匀性。适用于残余气体分析的开放式的电离室正在普及。最近,图16那样的与B—A计构造相同的离子源已实际应用[14、15]。这个离子源由于电子在栅网状的电离室内外往返运动,
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