Cd2SnO4薄膜的气敏效应研究

来源 :甘肃科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zy124321628

【摘要】

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在Ar+O2混合气氛中,应用射频反应溅射Cd-Sn合金靶沉积了Cd2SnO4（简称CTO）薄膜,并获得了该膜的电阻率与氧浓度和衬底温度的关系。研究了Cd<su

【作者】

：

彭栋梁蒋生蕊谢亮

【机构】

：

兰州大学物理系,兰州大学物理系兰州730001,兰州730001,兰州730001

【出处】

：

甘肃科学学报

【发表日期】

：

1993年4期

【关键词】

：

气敏效应 Cd2SnO4薄膜 Gas-Sensitive effec

【基金项目】

：

The work was supported by the Natural Science Foundation of Gansu province,

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在Ar+O2混合气氛中,应用射频反应溅射Cd-Sn合金靶沉积了Cd2SnO4（简称CTO）薄膜,并获得了该膜的电阻率与氧浓度和衬底温度的关系。研究了Cd2SnO4薄膜对液化石油气、一氧化碳、氢气和甲烷的敏感性及其物理机制;讨论了薄膜沉积条件对于气敏效应的影响以及在工作温度和气敏效

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