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来源 :电镀与涂饰 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
采用中频磁控溅射系统在手机不锈钢装饰件上沉积氮化铬薄膜,利用X射线衍射、扫描电镜、纳米压痕仪和球盘摩擦仪考察了基材偏压对薄膜微观结构、沉积速率、显微硬度和摩擦性能
【作 者】
:
万松峰
【机 构】
:
东莞职业技术学院机电工程系
【出 处】
:
电镀与涂饰
【发表日期】
:
2020年21期
【关键词】
:
氮化铬
中频磁控溅射
基材偏压
微观结构
显微硬度
摩擦学
chromium nitridemid-frequency magnetron sputtering
【基金项目】
:
2020广东省科技创新战略专项资金(pdjh2020b1267),广东省教育厅2017年度特色创新类项目(2017GGXJK094),2018东莞市社会科技发展项目(20185071561262)
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