【摘 要】
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大多数的电子产品都面临着节能问题,特别是移动电子产品和空间应用,需要集成电路在低电压和低功耗下工作。体硅,甚至PD-SOI(部分耗尽绝缘体硅)CMOS电路,在这些方面遇到很大的
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,中国科学院半导体研究所
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大多数的电子产品都面临着节能问题,特别是移动电子产品和空间应用,需要集成电路在低电压和低功耗下工作。体硅,甚至PD-SOI(部分耗尽绝缘体硅)CMOS电路,在这些方面遇到很大的挑战。FD-SOI,即全耗尽绝缘体硅技术是一个非常好的选择。当器件特征尺寸缩比到纳米级时,FD-SOI的节能优势更加突出。介绍FD-SOI的优点、应用及在中国发展的机遇。
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