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探讨了一种新型金刚石膜压力传感器的优化设计方法，采用了计算机辅助设计，用数值计算中的有限元理论和ANSYS程序，模拟传感器承载金刚石膜的应力场分布，确定了掺硼金刚石压敏电阻条的尺寸、最佳位置和排列方式。结果证明，按该设计研制的金刚石膜压力传感器输出信号达到了较高灵敏度和较好的稳定性。
金刚石膜压力传感器的优化设计（I）
【摘 要】
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探讨了一种新型金刚石膜压力传感器的优化设计方法，采用了计算机辅助设计，用数值计算中的有限元理论和ANSYS程序，模拟传感器承载金刚石膜的应力场分布，确定了掺硼金刚石压敏电阻
【机 构】
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河北工业大学,天津理工学院
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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2003年5期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)，教育部重点项目，天津市自然科学基金
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