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采用多弧离子镀技术并使用Ti—Cr合金靶和cr单质靶制备TiCrN硬质膜。利用扫描电镜及能谱分析对TiCrN膜层的成分、表面形貌、断面形貌进行观察和测定。系统考察TiCrN膜层硬度、膜／基附着力以及膜层抗热震性能。结果表明，所制备的TiCrN膜层组织均匀、致密，具有良好的综合性能。
多弧离子镀TiCrN硬质膜的制备及性能
【摘 要】
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采用多弧离子镀技术并使用Ti—Cr合金靶和cr单质靶制备TiCrN硬质膜。利用扫描电镜及能谱分析对TiCrN膜层的成分、表面形貌、断面形貌进行观察和测定。系统考察TiCrN膜层硬度
【机 构】
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沈阳科金特种材料有限公司
【出 处】
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中国材料科技与设备
【发表日期】
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2015年4期
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